ゲルマニウムウエハーは重要な半導体材料であり、赤外線光学で広く使用され、光ファイバー通信システムで重要な用途を持っています。また、その優れた電気特性により、半導体デバイスの製造にも使用できます。
2019年には、年間5万枚の生産能力を持つ第2のゲルマニウムウエハ生産ラインが完成し、稼働を開始しました。
成長方法 | CZ法 |
行動タイプ | 実験室 |
ドーパント | ゲガ |
結晶方位 | (100)9°オフ<111>±0.5° |
方向角度 | 該当なし |
OFオリエンテーション | <110>±0.2° |
OF長さ | 32±1ミリメートル |
IFオリエンテーション | 該当なし |
長さ | 該当なし |
直径 | 100±0.25(1″、2″、3″、6″、8″)mm |
抵抗率 | 0.005-0.02Ω·cm |
電子公報 | <300 /CM2 |
レーザーマーキング | フロントメジャーまたはその他 |
厚さ | 175(または145)±10μm |
テレビ | <10 |
弓 | <15 |
ワープ | <15 |
表面 | サイド 1: ポリッシュ仕上げ、サイド 2: ダイヤモンド グラウンド仕上げ |
強さ | >6 1bf |
エピレディ | 6ヶ月間の保証 |
要素 | 標準(最大) | 要素 | 標準(最大) |
マグネシウム | 5.0×10-7 | ニ | 8.0×10-7 |
アル | 5.0×10-7 | 銅 | 1.0×10-6 |
シ | 5.0×10-5 | 亜鉛 | 3.5×10-6 |
Cr | ————- | として | 1.0×10-6 |
鉄 | 1.0×10-5 | で | 5.0×10-7 |
共同 | 5.0×10-7 | 鉛 | 5.0×10-7 |
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